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基礎信息Product information
產品名稱：S3022F兩通道源表雙通道精密源表
產品型號：
更新時間：2025-11-14
產品簡介：
S3022F兩通道源表雙通道精密源表，2通道，電壓范圍±100nV到±200V，電流范圍100fA到±3A，其中脈沖可以到±10A，最大輸出功率30W，最大采樣率1MS/s
產品特性Product characteristics
“精"——上海市先JIN企業!
“專"——專注工業測試十六年!
“特"——德國萊茵TUV認證供應商!
“新"——注冊資本實繳壹仟萬元!實繳資金行業中居前茅!抗金融風險能力強!
S3022F兩通道源表雙通道精密源表，2通道，電壓范圍±100nV到±200V，電流范圍100fA到±3A，其中脈沖可以到±10A，最大輸出功率30W，最大采樣率1MS/s
雙通道兩通道2通道源表S3022F是結構緊湊、經濟高效的臺式精密源表(SMU)，能夠同時輸出并測量電壓和電流，提供更高的輸出能力和更高的精度，支持多機同步測試。為用戶提供±200V、±3A（直流）、±10A（脈沖）、最大30W功率輸出，最大采樣率 1MS/s，最小測量分辨率100fA/100nV。
1 產品描述
S3022F 精密電源/測量單元是結構緊湊、經濟高效的臺式電源/測量單元(SMU)，能夠同時輸出并測量電壓和電流。這些功能使得S3022F成為既需要高分辨率，又需要高精度的各種 IV(電流與電壓)測量任務的理想選擇。S3022F 以適中的價格提供優異的性能。它擁有寬泛的電壓源(±200V)和電流源(±3A 直流和±10A 脈沖)功能，出色的精度，6位半的顯示(100fA/100nV顯示分辨率)以及彩色LCD圖形用戶界面(GUI)。
2 產品特點和優勢
量程
大電壓大電流量程：±200V、±3A(直流)、±10A(脈沖)，單臺 SMU 產品即可同時滿足高電壓和大電流測量需求， 從而推動測量儀器的標準化，并簡化資產管理和支持工作。
最小測量分辨率
最小測量分辨率可達100fA/100nV，可以使用低成本的臺式 SMU 進行低電平測量，而以前則需要使用昂貴的半導體器件分析儀。
高速測量
最高可支持1MS/s的ADC采樣率，NPLC和采樣率可選。
傳感模式
支持2線或4線（遠程傳感）連接；最大傳感引線電阻：1 kΩ（額定精度）；遠程傳感輸出端與傳感端最大電壓：2V
SWEEP模式
支持單邊和雙邊的線性，對數，列表掃描。間隔從1μs至16s可配置，單次掃描最大64K點
雙邊對數掃描
自動量程
支持單點，掃描自動量程。過沖敏感設備建議切換量程前關閉輸出再做量程切換動作。
延時測量
支持延時測量，建議用戶設置合適的SOURCE DELAY以獲得更準確的測量值。
Source Delay 設置示意圖
注意：Source delay 必須大于源建立的時間，當采樣值不準，需要考電Source delay是否合理，特別是小電流最程。
保護
支持過溫保護，當檢測到內部溫度過高時，輸出關閉，待溫度回到65度以下會恢復操作使用；
當輸出超出 OVP 設定值時關閉輸出，設備重置后可進一步操作，精度：± (1%Setting+500mV)
支持傳統和默認的 SCPI 命令
支持傳統的 SCPI 命令，并可以部分兼容較舊的 SMU 代碼(例如 Keithley 2400系列)，從而盡量減少代碼轉換工作。
5.0 英寸彩色LCD電容觸摸屏
采用5.0英寸彩色LCD電容觸摸屏，提供了簡單易用的前面板GUI，可快速輕松地在前面板上進行測量和顯示數據，顯著加速交互式測試、表征和調試操作。
軟件功能
GUI非常直觀和簡潔，無需編程即可從 PC 進行遠程測量和控制。
電源
電壓范圍：100-240VAC，頻率范圍：50/60Hz，
最大功率：250W ，保險絲規格：T3.15AH 250 VAC
預熱 1 小時
尺寸（mm） 429*441*112(含腳墊、把手及旋鈕)
重量 凈重 8 kg
標準出廠附件：電源線，USB線，網線，紅色測試線，黑色測試線，U盤（包括PDF手冊、快速測量軟件和驅動程序）。
產品型號
S3022F 雙通道精密型電源/測量單元，脈沖源
可選附件
TA-01000
S3022F 輸出擴展連接裝置 ，250V,1A,4W,Triaxial
耗材/配件
TA-03001 三同軸輸出線，公對公，0.6米，250V，1A
TA-03002 三同軸輸出線，公對公，1.5米，250V，1A
TA-03003 三同軸輸出線，公對公，4米，250V，1A
雙通道源表S3022F
臺式200V雙通道精密源表
S3022F 雙通道精密電源/測量單元 是結構緊湊、經濟高效的雙通道臺式電源/測量單元(SMU)，能夠同時輸出并測量電壓和電流，提供更高的輸出能力和更高的精度，豐富的液晶屏操作界面極大的提高測試效率。
特點
高量程
量程：±200 V、±3 A（直流）、±10A（脈沖）
高分辨率
最小測量分辨率可達100 fA/100 nV
高采樣率
最高可支持1M的ADC采樣率
閾值觸發
硬件高速IO，可實現閾值觸發，實現輸出測量值和用戶系統的高效交互
功能與優勢
集成五大功能于一身
電壓源
電流源
電流表
電壓表
電子負載
一、三象限為源：輸出V/I的實際極性跟隨源設定；
二、四象限為負載：CC和CV配合，當負載用時，負載設定極性與源極性相反；
可測試各種設備
捕獲更多的測量數據
? 6 位半的數字分辨率: 精度相當于6 位半數字萬用表；
? 100 fA / 100 nV分辨率: 設置與測量靈敏度；
? 1M點/秒: 提供高速測量，可以快速設置/數字化率于任意波形發生器/列表掃描；
豐富的掃描功能
S3022F兩通道源表雙通道精密源表
電壓源指標
電壓設置精度
量程設置分辨率精度(1 年)±(%讀數+ 偏置)典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz
±200 V1 mV0.02%+30 mV1.5 mV
±20 V100 μV0.02%+2 mV160 μV
±6 V50 μV0.02%+500 μV36 μV
±200 mV1 μV0.02%+120 μV4 μV
溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單通道最大輸出功率30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
設置時間<800μs(典型值)
過沖<±0.1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試)
噪聲 10Hz-20MHz6V 電壓源，3A 電阻負載，<3 mVrms
[1]精度計算示例：測試200mV量程120mV輸出的精度，則允差為：
[2]本儀表有潛在的危險高壓(±210 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子，為防止電擊，在開機前必須做好相關的安全防范措施。請勿將Guard端子接到任何輸出，包括短接到機箱地或是輸出LO，否則會損壞儀表
電流源指標
電流設置精度
量程設置分辨率精度(1 年)±(% 讀數+偏置)典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz
±10 A150 μA0.4% + 40 mANA
±3 A15 μA0.05% + 2 mA40 μA
±1.5 A10 μA0.02% + 500 μA20 μA
±150 mA1 μA0.02% + 25 μA5 μA
±15 mA100 nA0.02% + 6 μA700 nA
±1.5 mA10 nA0.02% + 250 nA16 nA
±150 μA1 nA0.02% + 25 nA21 nA
±15 μA100 pA0.02% + 3 nA140 pA
±1.5 μA10 pA0.03% + 450 pA25 pA
±150 nA1 pA0.05%+250 pA5 pA
溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單通道最大輸出功率30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
設置時間<500 μs(典型值)
過沖<±0.1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試)
1、10A 量程僅支持脈沖模式, 精度為典型值
電壓表指標
電壓測量精度
量程顯示分辨率精度(1 年) ±(% 讀數+偏置)
±200 V100 μV0.02% + 30 mV
±20 V10 μV0.02% + 2 mV
±6 V1 μV0.02% + 500 μV
±200 mV100 nV0.02% + 120 μV
溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
電流表指標
電流測量精度
量程顯示分辨率精度(1 年) ±(% 讀數+偏置)
±10 A110 μA0.4% + 25 mA
±3 A10 μA0.05% + 2 mA
±1.5 A1 μA0.02% + 500 μA
±150 mA100 nA0.02% + 25 μA
±15 mA10 nA0.02% + 6 μA
±1.5 mA1 nA0.02% + 250 nA
±150 μA100 pA0.02% + 25 nA
±15 μA10 pA0.02% + 3 nA
±1.5 μA21 pA0.03% + 450 pA
±150 nA2100 fA0.05% + 250 pA
溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
1、10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值
2、小電流測量，建議使用三同軸線纜連接：ForceHi接芯線，Guard接內屏蔽層，外屏蔽層接保護地，ForceLo接芯線，內屏蔽層不接，外屏蔽層接保護地，同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。
電阻表指標（4 線）
電阻測量精度
量程顯示分辨率默認測量電流典型精度(1 年)
±(% 讀數+偏置)
1 Ω1 μΩ1.5 A0.073% +0.3334 mΩ
10 Ω10 μΩ150 mA0.057% + 3.334 mΩ
100 Ω100 μΩ15 mA0.08% + 33.34 mΩ
1 kΩ1 mΩ1.5 mA0.057% + 333. 4 mΩ
10 kΩ10 mΩ150 μA0.057% + 3.334 Ω
100 kΩ100 mΩ15 μA0.06% + 33.34 Ω
1 MΩ1 Ω1.5 μA0.06% + 333.4 Ω
10 MΩ10 Ω0.15 μA0.35% + 3.334 kΩ
100 MΩ100 Ω0.05 μA0.95% + 10 kΩ
溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
手動電流源電阻測量（四線）總體誤差=測量電壓/電流源設定電流=電阻讀數x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設定電流值) 示例：電流源設定電流=1.5A 電壓測量量程=6V 總體誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ
脈沖源指標（4線）
最小可編程脈寬100 μs
脈寬編程分辨率1 μs
脈寬編程精度±10 μs
脈寬抖動2 μs
脈沖寬度定義如下圖所示，從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時間
脈沖技術指標最大電流限制最大脈沖寬度最大占空比
10.15 A/200 VDC,無限制100%
21.5 A/20 VDC,無限制100%
33 A/6 VDC,無限制100%
43 A/20 V1 ms10%
510 A/6 V1 ms10%
脈沖源上升時間（4 線）
輸出量程典型上升時間 1,3典型穩定時間 2,3測試負載
電壓源
200 V600 μs1.5 ms空載
20 V200 μs360 μs空載
6 V160 μs300 μs空載
電流源
10 A140 μs320 μs滿載
3 A120 μs280 μs滿載
1.5 A120 μs280 μs滿載
150 mA120 μs280 μs滿載
15 mA120 μS280 μs滿載
1.5 mA120 μS280 μs滿載
1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時間。
2, 脈沖達到距離最終值 1%的所需的時間。
3, 電流源測試基于 6V 電壓量程下測試，105%滿量程鉗位設定。
I-V 輸出能力
輸出建立時間
輸出
量程
典型輸出建立時間
測試條件
Fast 1,2Normal 1Slow1
電壓源
200 V<1.3 ms<1.5 ms<2.5 ms
在開路負載條件下，達到距離最終值 0.1% 以內所需的時間。
步進是范圍 10% 至90%。
20 V<300 μs<360 μs<1 ms
6 V<150 μs<250 μs<1 ms
200 mV<200 μs<250 μs<1 ms
電流源
3 A<200 μs<280 μs<1.2 ms
滿載條件下，達到距離最終值0.1%以內(對于3A范圍，為0.3%)所需的時間。
步進是范圍的10%至90%。6V電壓量程，105%滿量程鉗位設定。
1.5 A<200 μs<280 μs<1.2 ms
150 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
15 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
1.5 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
150 μA<250 μs<300 μs<1.2 ms
15 μA<250 μs<1.2 ms<2 ms
1.5 μA<600 μs<1.2 ms<5 ms
150 nA<600 μs<5 ms<12 ms
1、輸出轉換速率：Fast,Normal,Slow。
2、Fast 模式在不同的量程或負載條件下輸出可能會出現較大過沖，過沖敏感設備建議用 Slow 模式。
采樣率及 NPLC 設置
配置方式配置范圍
NPLC0.00005 PLC ~ 10 PLC
Sampling Rate5 sps ~ 1 Msps
電壓源指標
電壓設置精度 | 量程 | 設置分辨率 | 精度(1 年)±(%讀數+ 偏置) | 典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz |
±200 V | 1 mV | 0.02%+30 mV | 1.5 mV | |
±20 V | 100 μV | 0.02%+2 mV | 160 μV | |
±6 V | 50 μV | 0.02%+500 μV | 36 μV | |
±200 mV | 1 μV | 0.02%+120 μV | 4 μV | |
溫度系數 | ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
單通道最大輸出功率 | 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A | |||
設置時間 | <800μs(典型值) | |||
過沖 | <±0.1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試) | |||
噪聲 10Hz-20MHz | 6V 電壓源，3A 電阻負載，<3 mVrms | |||
[1]精度計算示例：測試200mV量程120mV輸出的精度，則允差為：
[2]本儀表有潛在的危險高壓(±210 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子，為防止電擊，在開機前必須做好相關的安全防范措施。請勿將Guard端子接到任何輸出，包括短接到機箱地或是輸出LO，否則會損壞儀表
電流源指標
電流設置精度 | 量程 | 設置分辨率 | 精度(1 年)±(% 讀數+偏置) | 典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz |
±10 A1 | 50 μA | 0.4% + 40 mA | NA | |
±3 A | 15 μA | 0.05% + 2 mA | 40 μA | |
±1.5 A | 10 μA | 0.02% + 500 μA | 20 μA | |
±150 mA | 1 μA | 0.02% + 25 μA | 5 μA | |
±15 mA | 100 nA | 0.02% + 6 μA | 700 nA | |
±1.5 mA | 10 nA | 0.02% + 250 nA | 16 nA | |
±150 μA | 1 nA | 0.02% + 25 nA | 21 nA | |
±15 μA | 100 pA | 0.02% + 3 nA | 140 pA | |
±1.5 μA | 10 pA | 0.03% + 450 pA | 25 pA | |
±150 nA | 1 pA | 0.05%+250 pA | 5 pA | |
溫度系數 | ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
單通道最大輸出功率 | 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A | |||
設置時間 | <500 μs(典型值) | |||
過沖 | <±0.1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試) | |||
1、10A 量程僅支持脈沖模式, 精度為典型值
電壓表指標
電壓測量精度 | 量程 | 顯示分辨率 | 精度(1 年) ±(% 讀數+偏置) |
±200 V | 100 μV | 0.02% + 30 mV | |
±20 V | 10 μV | 0.02% + 2 mV | |
±6 V | 1 μV | 0.02% + 500 μV | |
±200 mV | 100 nV | 0.02% + 120 μV | |
溫度系數 | ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
電流表指標
電流測量精度 | 量程 | 顯示分辨率 | 精度(1 年) ±(% 讀數+偏置) |
±10 A1 | 10 μA | 0.4% + 25 mA | |
±3 A | 10 μA | 0.05% + 2 mA | |
±1.5 A | 1 μA | 0.02% + 500 μA | |
±150 mA | 100 nA | 0.02% + 25 μA | |
±15 mA | 10 nA | 0.02% + 6 μA | |
±1.5 mA | 1 nA | 0.02% + 250 nA | |
±150 μA | 100 pA | 0.02% + 25 nA | |
±15 μA | 10 pA | 0.02% + 3 nA | |
±1.5 μA2 | 1 pA | 0.03% + 450 pA | |
±150 nA2 | 100 fA | 0.05% + 250 pA | |
溫度系數 | ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
1、10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值
2、小電流測量，建議使用三同軸線纜連接：ForceHi接芯線，Guard接內屏蔽層，外屏蔽層接保護地，ForceLo接芯線，內屏蔽層不接，外屏蔽層接保護地，同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。
電阻表指標（4 線）
量程 | 顯示分辨率 | 默認測量電流 | 典型精度(1 年)±(% 讀數+偏置) |
1 Ω | 1 μΩ | 1.5 A | 0.073% +0.3334 mΩ |
10 Ω | 10 μΩ | 150 mA | 0.057% + 3.334 mΩ |
100 Ω | 100 μΩ | 15 mA | 0.08% + 33.34 mΩ |
1 kΩ | 1 mΩ | 1.5 mA | 0.057% + 333. 4 mΩ |
10 kΩ | 10 mΩ | 150 μA | 0.057% + 3.334 Ω |
100 kΩ | 100 mΩ | 15 μA | 0.06% + 33.34 Ω |
1 MΩ | 1 Ω | 1.5 μA | 0.06% + 333.4 Ω |
10 MΩ | 10 Ω | 0.15 μA | 0.35% + 3.334 kΩ |
100 MΩ | 100 Ω | 0.05 μA | 0.95% + 10 kΩ |
溫度系數 | ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
手動電流源電阻測量（四線） | 總體誤差=測量電壓/電流源設定電流=電阻讀數x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設定電流值) 示例：電流源設定電流=1.5A 電壓測量量程=6V 總體誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ | ||
脈沖源指標（4線）
最小可編程脈寬 | 100 μs |
脈寬編程分辨率 | 1 μs |
脈寬編程精度 | ±10 μs |
脈寬抖動 | 2 μs |
脈沖寬度定義 | 如下圖所示，從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時間 |
脈沖技術指標 | 最大電流限制 | 最大脈沖寬度 | 最大占空比 |
1 | 0.15 A/200 V | DC,無限制 | 100% |
2 | 1.5 A/20 V | DC,無限制 | 100% |
3 | 3 A/6 V | DC,無限制 | 100% |
4 | 3 A/20 V | 1 ms | 10% |
5 | 10 A/6 V | 1 ms | 10% |
脈沖源上升時間（4 線）
輸出 | 量程 | 典型上升時間 1,3 | 典型穩定時間 2,3 | 測試負載 |
電壓源 | 200 V | 600 μs | 1.5 ms | 空載 |
20 V | 200 μs | 360 μs | 空載 | |
6 V | 160 μs | 300 μs | 空載 | |
電流源 | 10 A | 140 μs | 320 μs | 滿載 |
3 A | 120 μs | 280 μs | 滿載 | |
1.5 A | 120 μs | 280 μs | 滿載 | |
150 mA | 120 μs | 280 μs | 滿載 | |
15 mA | 120 μS | 280 μs | 滿載 | |
1.5 mA | 120 μS | 280 μs | 滿載 |
1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時間。
2, 脈沖達到距離最終值 1%的所需的時間。
3, 電流源測試基于 6V 電壓量程下測試，105%滿量程鉗位設定。
輸出建立時間
輸出 |
量程 | 典型輸出建立時間 |
測試條件 | ||
Fast 1,2 | Normal 1 | Slow1 | |||
電壓源 | 200 V | <1.3 ms | <1.5 ms | <2.5 ms |
在開路負載條件下，達到距離最終值 0.1% 以內所需的時間。 步進是范圍 10% 至90%。 |
20 V | <300 μs | <360 μs | <1 ms | ||
6 V | <150 μs | <250 μs | <1 ms | ||
200 mV | <200 μs | <250 μs | <1 ms | ||
電流源 | 3 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms |
滿載條件下，達到距離最終值0.1%以內(對于3A范圍，為0.3%)所需的時間。 步進是范圍的10%至90%。6V電壓量程，105%滿量程鉗位設定。 |
1.5 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
150 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
15 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
1.5 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
150 μA | <250 μs | <300 μs | <1.2 ms | ||
15 μA | <250 μs | <1.2 ms | <2 ms | ||
1.5 μA | <600 μs | <1.2 ms | <5 ms | ||
150 nA | <600 μs | <5 ms | <12 ms | ||
1、輸出轉換速率：Fast,Normal,Slow。
2、Fast 模式在不同的量程或負載條件下輸出可能會出現較大過沖，過沖敏感設備建議用 Slow 模式。
